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吉致资讯第10期:抛光液生产工艺

文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2014-12-20 14:31【


抛光液是怎么生产加工的呢?抛光液的生产是需要精细的比例配料,然后开始预分散,配料分散均匀后开始研磨,研磨过后在继续分散搅拌,后开始包装。化学机械抛光液的组成一般包括一般由细固体粒子研磨剂(如纳米SiO2、Al2O3粒子等)、表面活性剂、稳定剂、氧化剂等。固体粒子提供研磨作用,化学氧化剂提供腐蚀溶解作用,由于SiO2粒子去除率高,得到的表面质量好,因此在硅片抛光加工中主要采用SiO2抛光液。

 

抛光液对于磨料的要求是很高的,如果磨料颗粒不均匀,抛光过程中较大的颗粒就会刮花工件,会出现划伤、麻点等不良品,终导致产品不良。选择抛光不同材质的工件需要选择不同的磨料,如抛软一些材质的元件可以采用氧化硅磨料,如硬一些材质可以选择金刚石和碳化硅磨料等。 

 

 

化学机械抛光技术是半导体晶片表面加工的关键技术之一,并用于集成电路制造过程的各阶段表面平整化,而抛光液对抛光效率和加工质量有着重要的影响,但由于具有很高的技术要求,目前商业化的抛光液配方处于完全保密状态,主要集中在美国、日本、韩国。这也导致在我国半导体硅抛光片加工中,所使用的抛光液绝大多数都要靠进口。尽管我国目前在抛光液行业现已发展到有几十家的企业,但是真正涉足到半导体硅片抛光液制造、研发方面的企业很少。

 

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