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国内首条化学机械抛光液生产线创造经济价值超亿元

文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2014-08-20 16:47【

2月22日,在化学机械抛光实验室,一名科研人员在展示应用化学机械抛光液研磨的硅衬底。

2月22日,由一家科技型中小企业建立的国内首条化学机械抛光液生产线,年产能达6000吨,创造直接经济价值超亿元,可取代进口产品。

据介绍,该企业依托河北工业大学建立,共同承担国家中长期科技发展规划02重大专项“极大规模集成电路平坦化工艺与材料”项目。由学校研发、公司生产的系列化学机械抛光液、清洗液处于国内领先地位,已在北京、上海、江苏等省市三十余家微电子企业实现规模应用。