蓝宝石抛光液如何选?
随着科技的发展和迭代,3C科技产品对玻璃面板的要求越来越高,需要硬度更高且不容易划伤的玻璃,因此蓝宝石材质的应用和需求越来越广泛,如手机蓝宝石屏幕、蓝宝石摄像头、蓝宝石手表等。蓝宝石的特点是硬度高,脆性大,所以抛光液加工难度也大。
因此,很有必要研究并升级CMP抛光工艺在蓝宝石窗口上的应用,选择适用的CMP抛光液。目前国内批量生产蓝宝石衬底的技术还不成熟,切割出来的蓝宝石晶片有很深的加工痕迹,抛光后容易形成麻点或划痕。在蓝宝石衬底的生产中,裂纹和崩边的情况比较高,占总数的5%-8%。抛光过程中影响抛光质量的因素很多,如抛光液的成分和PH值、压力、温度、流量、转速、抛光垫的质量等。
蓝宝石抛光对抛光液的材质要求很高。太软的磨料会导致抛光时间过长,抛光效果不理想。目前适用于蓝宝石抛光液主要选择钻石抛光液。钻石抛光液以人造金刚石为磨料,硬度高、韧性好,配合蓝宝石抛光垫一起使用减薄速率快,切削力好。想要达到镜面效果,可以使用氧化硅抛光液和精抛垫进行深入加工,达到精抛的效果。
吉致电子科技有限公司25年抛光液厂家,有丰富的抛光液抛磨案例,专业研发CMP化抛液,可为您提供优质蓝宝石抛光方案和产品。
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