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抛光垫的作用?
抛光垫的作用?
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发表时间:2014-08-20 16:48【
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①把
抛光液
有效均匀地输送到
抛光垫
的不同区域;
②将抛光后的反应物、碎屑等顺利排出;
③维持抛光垫表面的抛光液薄膜,以便化学反应充分进行;
④保持抛光过程的平稳、表面不变形,以便获得较好的晶片表面形貌。
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CMP抛光液的应用领域有哪些?
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