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抛光垫的作用?

文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2014-08-20 16:48【

①把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域;

②将抛光后的反应物、碎屑等顺利排出;

③维持抛光垫表面的抛光液薄膜,以便化学反应充分进行;

④保持抛光过程的平稳、表面不变形,以便获得较好的晶片表面形貌。