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什么事抛光垫

文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2016-07-09 08:26【

抛光垫,其包含一具有一顶部表面和一底部表面的主体,所述顶部表面包含一具有一第一深度和第一宽度的第一组凹槽,所述底部表面包含一具有一第二深度和第二宽度的第二组凹槽,其中所述第一组凹槽与第二组凹槽互连并以使其不对准的方式定向。

抛光垫,其包含一主体,所述主体具有:(a)一顶部表面,其包含一具有一第一深度和第一宽度的第一组凹槽;和(b)一底部表面;其包含一具有一第二深度和第二宽度的第二组凹槽,其中所述第一组凹槽和第二组凹槽互连并以使其不对准的方式定向。

抛光垫的作用

①把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域;

②将抛光后便化学反应充分进行;的反应物、碎屑等顺利排出,达到去除效果;

③维持抛光垫表面的抛光液薄膜, 以便化学反应充分进行;

④保持抛光过程的平稳、表面不变形, 以便获得较好的晶片表面形貌;


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