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氧化硅抛光液
产品特点:
1.分散性好、不结晶 。
2.粒径分布广泛:5-100nm。
3.高纯度(Cu2+含量小于50 ppb),有效减小对电子类产品的沾污。
4.经特殊工艺合成的化学机械抛光液,纳米颗粒呈球形,单分散,大小均匀,粒径分布窄,可获得高质量的抛光精度。
5.适合与各种抛光垫、合成材料配合抛光使用。
6.PH、粒径、稳定离子等可以根据客户定制(10-150 nm)。
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