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为什么抛光垫开槽了抛光效率没有明显提升?

文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2014-08-20 16:51【

您好,抛光垫沟槽的宽度有一个合理的值,如果抛光垫上开的沟槽宽度过小,不能有效改善抛光液的输送和储存,对抛光效率提高很小;如果抛光垫上开的沟槽宽度过大,抛光效率反而减小,抛光后衬底片表面粗糙度也会变大。